Неугомонные вышли на 450-мм дорогу

20.09.2019 Hi-tech

На грядущей конференции SEMICON WEST, организуемой в июле с.г., сотрудники компании SEMATECH1 доложат подробности о продвижении инициатив, которые связаны с кремниевыми подложками диаметром 450 мм и с стандартизацией и усовершенствованием процессов на 300-мм подложках (300 mm Next Generation Factory, NGF) [1].

Быть может, самый необычен прогресс 450-мм подложек – компания ISMI уже взяла с целью проведения опробований 100 поликристаллических кремниевых 450-мм подложек от изготовителей и к Январю ожидает взять монокристаллические образцы. Директор ISMI, Scott Kramer, выделяет, что ISMI будет придерживаться нейтральной позиции в развернувшейся войне между компаниями, стремящимися освоить 450 мм «на полном ходу», и компаниями, вычисляющими, что более продуктивно совершентсвовать производство на 300-мм подложках.

Крамер заявил: “Мы не будем устанавливать никаких графиков. Отечественная позиция – собрать все сведенья и представить их игрокам на полупроводниковом рынке для принятия ответа. Мы только соберем эти, совершим опробования и будем оказывать влияние на утверждение стандартов».Неугомонные вышли на 450-мм дорогу На грядущей конференции Крамер представит эти истытания устройство и захват для переноса 450-мм подложек разной толщины – вероятный компромиссный стандарт, что будет утвержден – 925 мкм (см. рис.

1). Первые 450-мм подложки поставила Japan’s Nippon MiningMetals Co. ЛТД., но Крамер говорит, что имеется и другие поставщики [2].

Компания сотрудничает уже с более чем 20 поставщиками материалов, различного оборудования и приспособлений.

Рис. Держатель 450-мм подложек проходит опробования на точность позиционирования в Межсетевом Испытательном стенде (Interoperability Test Bed (ITB), Austin, Техас). Захват поставила компания Brooks Automation Inc., а устройство для транспортировки пластин – Entegris Inc.

Производство ИС на 450-мм подложках? Все же ни при каких обстоятельствах! Таков вердикт консалтинговой компании Wright WilliamsKelly, Inc. (WWK), которая совершила опрос среди 3000 опрощеных из 20 ведущих полупроводниковых производителей чипов, оборудования и материалов.

Среди ответов были и более оптимистичные – производство на 450-мм подложках быть может, но не ранее 2015 г. [3].

1SEMATECH (SEmiconductor MAnufacturing TECHnology) – некоммерческий консорциум, что делает фундаментальные исследования полупроводникового производства. Консорциум был основан в 1987 г. по соглашению между правительством и четырнадцатью ведущими полупроводниковыми производителями США для ответа неспециализированных производственных задач, например, этот консорциум разрабатывает так именуемые Дорожные карты для полупроводникового производства. С 2004 г. SEMATECH трудится как интернациональная организация и имеет три дочерних компании – Advanced Technology Development Facility (ATDF), Advanced Materials Research Center (AMRC) и International Sematech Manufacturing Initiative (ISMI).

С.Т.К.

Самый быстрый электрокар в мире ! Nio Ep9 самый быстрый автомобиль и редкий суперкар


Похожие статьи, которые вам понравятся: